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在半導(dǎo)體制造設(shè)備中，波紋管（Bellows） 是一種用于精密密封、柔性傳動和位移補償?shù)年P(guān)鍵金屬彈性元件。國內(nèi)外很多企業(yè)使用，如日本佳能，ULVAC，AKT等。此類設(shè)備對真空密封性要求嚴(yán)格，使用壽命達(dá)100-500萬次。